KMAC 簡介

K-MAC(株)公司附屬韓國物理性質分析研究所,主要開發(fā)生產具有高科技含量的 物理化學分析儀器和應用儀器。K-MAC(株)公司在北京設有分公司，可為您提供 及時的售前、售后服務。方便您的研究、生產。

設備簡介?

1.特點

l 操作簡單易懂 l 非接觸式、非破壞式測量方法 l 可同時測量多層膜厚度 l 原地測量 l 價 格合理

2.應用領域

半導體 Poly-Si, GaAS, GaN, InP, ZnS, SiGe ...

絕緣材料 SiO 2 , Si 3 N 4 , TiO 2 , ITO, ZrO 2 , BTS, HfO 2 ...

聚合物 PVA, PET, PP, PR ...

LCD a-Si, n+a-Si,Oxides, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide

Film

光學鍍層 Hardnes Coating, Anti-Reflection Coating, Filters, Packing & Functional Film ...

可紀錄材料 Phtosensitive Drum, Video Head, Optical Disk ...

其它 Photoresist Film on CRT & Shadow Mask, Thin Metal Films, Laser

Mirrors ...

3.可用的基片

Silicon SOI Al 2 O 3 Aluminium

SOS GaAs Glass ......

軟件

⊙ 實時測量

⊙ 再現性好（精度可達 1A 以下）

⊙ 厚度及光學常數（折射率、消光系 數）

⊙ 一次較多 3 層薄膜測量

⊙ 測量結果制圖

⊙ X-Y-Z 移動控制

⊙ CCD 影像顯示

⊙ 自定義測量過程

⊙ 打印預覽模式

4.分光反射鏡的工作原理

利用可見光非接觸式測量 光源與信號通道 如右圖所示，鎢－鹵光源發(fā)出的光通過 光學顯微鏡入射到樣片上的薄膜上，然 后從薄膜表面和基底反射的光通過入射 光纖探針內中間的一個發(fā)射光收集光纖 又入射到分光計（spectrometer）。這 個反射光由探測器里的光柵根據波長分 解后，由 CCD 轉換成電子信號，再由 A/D 轉換器轉換成數字信號，較后通過通訊 端口輸入到電腦進行分析。

干涉頻譜

– 相干光 → 表面反射 + 薄膜 / 底層反射 = 干 涉現象 → 相長 / 相消干涉（與波長有關）

光譜擬合薄膜厚度

– 在波長范圍里測量頻譜的正弦波型由 薄膜厚度和 N&K 值決定

– 由擬合計算測定頻譜來優(yōu)化薄膜厚度 和 N&K 值

5技術指標

類型 手動對焦

測量樣本尺寸 ≤ 4"

特點 快速測量 & 操作簡單

基于用戶友好界面的 Windows 操作 圖像打印功能 & 數據保存

平臺尺寸 150 x 120mm(70 x 50mm 行程)

測量范圍 200?~ 35 ?

光斑大小 一般 20 ?

測量速度 1~2 sec./site

應用領域 Polymers : PVA, PET, PP, PR ... Dielectrics :

Semiconductors: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...

物鏡 三目鏡頭

目鏡 內傾四孔轉換器 t

北京燕京電子有限公司成立于1988年，是北京電子控股有限責任公司直屬企業(yè)，是一家大部分國家集成供應商和有經驗設備及儀器的服務商。公司目前經營規(guī)模超億元，主營業(yè)務為向國內外科研院所、大型設備制造業(yè)和資金業(yè) 提供成套集成供應及有經驗設備儀器的維護、運行等有經驗化的系統解決方案和服務。在大部分國家制造行業(yè)，燕京公司在世界各地擁有眾多的長期代理商和合作伙伴，經過長期合作交流的實踐建立了廣泛的市場營銷網絡。同時與國內各相關領域的重要 廠商也建立有良好的合作關系，為大型設備制造業(yè)的客戶提供成套原材料、零部件及電子元器件。

主營行業(yè)：檢測設備 // 其它 檢測設備 // 建筑玻璃檢測設備 檢測設備 // 玻璃檢測設備 檢測設備 // 安全玻璃檢測設備 公司注冊地址：北京 法人代表：
員工人數：50-100人 廠房面積： 年營業(yè)額：人民幣5000萬元/年-人民幣1億元/年
年進口額： 年出口額： 主要市場：
客戶群：太陽能光伏玻璃分析檢測設備
公司名稱:北京燕京電子有限公司
注冊資本:人民幣2000萬元/年-人民幣5000萬元/年 公司網址：http://beijingec.glass.com.cn

供應光學薄膜測厚儀