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玻璃底板上涂布保護膜的無旋轉(zhuǎn)涂布技術(shù)

來源: 作者:佚名 2004/7/13 9:10:00

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東京應化工業(yè)在東京舉辦的展會上展示了通過無旋轉(zhuǎn)涂布在第七代玻璃底板上涂布保護膜的樣品。玻璃底板的尺寸為1870mm×2200mm。該公司表示:“這是在支持第七代生產(chǎn)線的量產(chǎn)版無旋轉(zhuǎn)涂布設(shè)備的靠前號機上試制的”。

  該公司此次開發(fā)的支持第七代生產(chǎn)線的無旋轉(zhuǎn)涂布設(shè)備,實現(xiàn)了和此前支持第五代設(shè)備一樣的制程時間(Tact Time)。使用支持第五代生產(chǎn)線的設(shè)備時50mm/秒的速度,此次提高到了150~200mm/秒。該公司計劃2004年9月開始供應這一支持第七代生產(chǎn)線的保護膜涂布設(shè)備。

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